壓力控制閥
CBV系列型智能流導(dǎo)控制閥是泵端壓力控制系統(tǒng)的核心單元，集成了蝶形流導(dǎo)閥門、測量電路誉缚、閉環(huán)控制器嘱垛、通信和閥門驅(qū)動電路。
Learn more北京捷造光電技術(shù)有限公司
產(chǎn) 品
部件產(chǎn)品
捷造的專用核心部件和儀器晌箍，廣泛應(yīng)用于光伏和半導(dǎo)體設(shè)備豪荧，用于解決工藝制程中核心操作傀铃，這些部件包含等離子體發(fā)生废登、濺射陰極版鳞、蒸發(fā)源铝条、壓力控制閥局权、門閥占航、真空機(jī)械手茸太、膜厚測量儀等彰畅。
傳輸閥
緊湊型高真空傳輸閥罚午，用于產(chǎn)線Load/Lock和隔離通道逞迟。
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離子源和離子槍
空心陰極和熱陰極離子源，最大電流50-150A恕沫，中低壓工作電壓监憎，可用于離子束加熱、反應(yīng)離子輔助沉積等工藝制程
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磁控濺射陰極
靶材2英寸-4英寸的標(biāo)準(zhǔn)磁控濺射陰極婶溯，超高真空鲸阔、可調(diào)節(jié)的磁場平衡和強(qiáng)度，DC/RF兼容迄委，可用于濺射和共濺射系統(tǒng)
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旋轉(zhuǎn)陰極驅(qū)動
長壽命大功率旋轉(zhuǎn)陰極驅(qū)動端褐筛，側(cè)裝和吊裝結(jié)構(gòu)，陶瓷水密封叙身，大面積浮動電刷渔扎，最大功率60kVA或驅(qū)動2.5米靶材。用于GW級光伏PVD產(chǎn)線信轿。
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共蒸發(fā)源
安裝于標(biāo)準(zhǔn)450平臺的的多蒸發(fā)源共沉積模塊晃痴，2-6個(gè)獨(dú)立蒸發(fā)源，獨(dú)立氣動擋板财忽，直流閉環(huán)電流控制倘核。用于OLED/鈣鈦礦材料研究。
Learn more研發(fā)設(shè)備
大學(xué)實(shí)驗(yàn)室怎窿、科研機(jī)構(gòu)侧缔、企業(yè)材料實(shí)驗(yàn)室常用薄膜沉積設(shè)備，主要有6-12英寸PECVD喻透、450標(biāo)準(zhǔn)平臺PVD等實(shí)驗(yàn)裝備寒淌。
JPE系列6"-12"PECVD
單室/多室全自動PECVD平臺，工件6-12英寸標(biāo)準(zhǔn)硅片晶乘，集成氣路柜蚜遥、真空機(jī)械手傳輸、氮?dú)夥忾]環(huán)境片盒枯邓。
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JSP系列300mm PVD
小型Inline PVD，單端/雙端接口乘占，兼容平面濺射陰極和空心陰極離子鍍
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HCD450空心陰極離子鍍
鈣鈦礦背電極TCO低損傷解決方案掰媚，反應(yīng)沉積優(yōu)質(zhì)金屬氧化物
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