公司簡(jiǎn)介

北京捷造光電技術(shù)有限公司成立于2010年纱耻，位于北京亦莊經(jīng)濟(jì)技術(shù)開發(fā)區(qū)，公司面向光伏和半導(dǎo)體領(lǐng)域開發(fā)和推廣薄膜沉積工藝裝備技術(shù)圾框，其中包括在PVD（磁控濺射、有機(jī)及金屬共蒸發(fā)畦怒、反應(yīng)離子沉積等）残团、CVD（PECVD、LPCVD等）和ALD原子層沉積等薄膜工藝設(shè)備桶邑。

公司開發(fā)的的專用部件和儀器豁箱，應(yīng)用于光伏和半導(dǎo)體工藝設(shè)備，解決工藝制程中核心操作法顺，這些部件包含等離子體發(fā)生、濺射陰極定邪、蒸發(fā)源快挡、壓力控制閥、門閥买臣、真空機(jī)械手现蹂、膜厚測(cè)量?jī)x等。

我們的技術(shù)和服務(wù)

我們?yōu)榇髮W(xué)實(shí)驗(yàn)室术陶、科研機(jī)構(gòu)凑懂、企業(yè)材料實(shí)驗(yàn)室提供標(biāo)準(zhǔn)6-12英寸PECVD、PVD等實(shí)驗(yàn)裝備方案梧宫；為生產(chǎn)企業(yè)提供量產(chǎn)PECVD接谨、PVD以及核心部件的技術(shù)解決方案。

實(shí)驗(yàn)室工藝設(shè)備

單室/多室全自動(dòng)PECVD平臺(tái)塘匣，工件6-12英寸標(biāo)準(zhǔn)硅片脓豪，集成氣路柜、真空機(jī)械手傳輸忌卤、氮?dú)夥忾]環(huán)境片盒扫夜。

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量產(chǎn)設(shè)備技術(shù)

產(chǎn)能可達(dá)12000-24000pcs/h的量產(chǎn)PECVD和PVD產(chǎn)線，兼容M6-M12整片/半片的HJT電池產(chǎn)線

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